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产品名称:ICP系列

产品类别:设备仪器,光学制造设备(设计加工检测)

应用行业类别:军民融合,惯性技术

单位名称:北京创世威纳科技有限公司

产品描述

真空获得 耐腐蚀分子泵系统
真空室数量 双室(刻蚀室、Load-lock室)
系统耐腐蚀程度 ICP-8100:耐氟基气体腐蚀
ICP-8101:耐氯基、氟基气体腐蚀
样片尺寸 Φ6英寸、Φ8英寸
刻蚀速率 0.1~4μm/min(视具体材料与工艺)
刻蚀不均匀性 ±3%~±5%
标配样片冷却方式 水冷
可选配样片冷却方式 He冷背吹
气路数量 标配4路耐腐蚀气路,可扩展至8路气路
终点检测控制 可选配
深硅刻蚀系统 可选配
氯基气体刻蚀 可选配
关键部件 进口、国产可选配
人机界面 Windows风格界面、触摸屏操作
操作方式 全自动方式、半自动方式
生产模式 连续生产
请向厂家索取样本及详细技术资料
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