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产品名称:PECVD系列

产品类别:设备仪器,真空、镀膜、冷却、气体处理设备

应用行业类别:军民融合,惯性技术

单位名称:北京创世威纳科技有限公司

产品描述

真空获得 分子泵+罗茨泵机组
真空室数量 双室(沉积室、Load-lock室)
样品尺寸 Φ6英寸、Φ8英寸
加热温度 基本配置300℃,或用户定制更高温度
沉积速率 20nm~600nm /min(视具体材料与工艺)
沉积不均匀性 ≤±5%
气路数量与种类 标配4路气路,或用户选配
甚高频 可选配
危险气体掺杂 可选配
关键部件 进口、国产可选配
人机界面 Windows风格界面、触摸屏操作
操作方式 全自动方式、半自动方式
生产模式 连续生产
请向厂家索取样本及详细技术资料
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